氧化鋁陶瓷 Al2O3

氧化鋁陶瓷是目前最耐用的陶瓷之一。氧化鋁陶瓷傑出的特性使它成為最廣泛使用於結構、磨損及腐蝕環境的陶瓷之一。 另外,高純度氧化鋁陶瓷亦因為具有卓越的電性而成為半導體腔體應用的常用材料之一。

應用

  • 半導體設備之腔體零件
  • 晶圓傳送零件
  • 平面顯示器生產設備之零件
  • 耐熱及電絕緣零件
Alumina Ceramics Products Photo
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特性

      AS999 AG999 AM997
一般特性 特徵 高純度 抗電漿 一般等級
主要成分純度 (wt%) 99.99 99.9 99.7
顏色 白色 白黃色 白黃色
密度 (g/cm3) 3.95 3.93 3.93
吸水性 (%) 0 0 0
機械特性 抗彎強度 (MPa) 390 390 390
楊氏模量 (GPa) 380 380 375
維氏硬度 (GPa) 18 17 18
熱特性 最高作業溫度 (°C) 1600 1600 1600
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) RT~500°C 7 7.4 7
RT~800°C 7.7 8.1 7.6
導熱係數 (W/m×K) 33 30 33
熱震抵抗 ΔT (°C) 200 - 200
電特性 體積電阻率 25°C 1015 1015 1016
300°C 1012 - 1013
500°C 109 - 1010
800°C 107 - 109
介電常數 10GHz 9.9 9.7 9.7
介電耗損 (×10-4) 0.5 6 1
Q Factor (×104) 2 0.2 1
介電擊穿電壓 (KV/mm) 18 17 18