氮化鋁陶瓷AlN
氮化鋁經常因其導熱性,以及對氟離子電漿攻擊之抗性而受到青睞。
應用
- 半導體加工設備之腔體零件
- 熱輻射基材
特性
ALN99 | ALN94 | |||
一般特性 | 特徵 | 高純度 | 高導熱性 | |
主要成分純度(wt%) | 99 | 94 | ||
顏色 | 淺灰色 | 淺灰色 | ||
密度(g/cm3) | 3.24 | 3.31 | ||
吸水性(%) | 0 | 0 | ||
機械特性 | 抗彎強度(MPa) | 295 | 345 | |
楊氏模量(GPa) | 320 | 320 | ||
維氏硬度(GPa) | 11 | 11 | ||
熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | 1000 | 1000 | |
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | 4.4 | 4.4 | |
RT~800°C | 5.1 | 5.1 | ||
導熱係數 (W/m×K) | 80 | 150 | ||
熱震抵抗 ΔT (°C) | 300 | 400 | ||
電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 1014 | 1014 |
300°C | 108 | 1010 | ||
500°C | 107 | 107 | ||
800°C | 105 | 105 | ||
介電常數 | 10GHz | 8.5 | 8.5 | |
介電耗損 (×10-4) | 30 | 30 | ||
Q Factor (×104) | 0.03 | 0.03 | ||
介電擊穿電壓 (KV/mm) | - | - |