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產品介紹
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氮化鋁陶瓷AlN
氮化鋁經常因其導熱性，以及對氟離子電漿攻擊之抗性而受到青睞。
應用
- 半導體加工設備之腔體零件
- 熱輻射基材
特性
| ALN99 | ALN94 | |||
| 一般特性 | 特徵 | 高純度 | 高導熱性 | |
| 主要成分純度(wt%) | 99 | 94 | ||
| 顏色 | 淺灰色 | 淺灰色 | ||
| 密度(g/cm3) | 3.24 | 3.31 | ||
| 吸水性(%) | 0 | 0 | ||
| 機械特性 | 抗彎強度(MPa) | 295 | 345 | |
| 楊氏模量(GPa) | 320 | 320 | ||
| 維氏硬度(GPa) | 11 | 11 | ||
| 熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | 1000 | 1000 | |
| 熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | 4.4 | 4.4 | |
| RT~800°C | 5.1 | 5.1 | ||
| 導熱係數 (W/m×K) | 80 | 150 | ||
| 熱震抵抗 ΔT (°C) | 300 | 400 | ||
| 電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 1014 | 1014 |
| 300°C | 108 | 1010 | ||
| 500°C | 107 | 107 | ||
| 800°C | 105 | 105 | ||
| 介電常數 | 10GHz | 8.5 | 8.5 | |
| 介電耗損 (×10-4) | 30 | 30 | ||
| Q Factor (×104) | 0.03 | 0.03 | ||
| 介電擊穿電壓 (KV/mm) | - | - | ||