氮化鋁陶瓷AlN

氮化鋁經常因其導熱性,以及對氟離子電漿攻擊之抗性而受到青睞。

應用

  • 半導體加工設備之腔體零件
  • 熱輻射基材

Silicon Nitride Ceramics Products Photo

特性

      ALN99 ALN94
一般特性 特徵 高純度 高導熱性
主要成分純度(wt%) 99 94
顏色 淺灰色 淺灰色
密度(g/cm3) 3.24 3.31
吸水性(%) 0 0
機械特性 抗彎強度(MPa) 295 345
楊氏模量(GPa) 320 320
維氏硬度(GPa) 11 11
熱特性 最高作業溫度 (°C) 1000 1000
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) RT~500°C 4.4 4.4
RT~800°C 5.1 5.1
導熱係數 (W/m×K) 80 150
熱震抵抗 ΔT (°C) 300 400
電特性 體積電阻率 25°C 1014 1014
300°C 108 1010
500°C 107 107
800°C 105 105
介電常數 10GHz 8.5 8.5
介電耗損 (×10-4) 30 30
Q Factor (×104) 0.03 0.03
介電擊穿電壓 (KV/mm) - -