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產品介紹
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低熱膨脹係數陶瓷
低熱膨脹係數陶瓷在室溫下不會發生膨脹。這些輕量陶瓷對於靜電吸盤及高精密儀器等高度要求尺寸穩定性的應用而言是很好的選擇。
應用
- 半導體加工設備零件
- 精密機械零件
特性
| 一般特性 | 主要成分純度 (wt%) | - | |
| 顏色 | 灰色 | ||
| 密度 (g/cm3) | 2.5 | ||
| 吸水性 (%) | 0 | ||
| 機械特性 | 抗彎強度 (MPa) | 200 | |
| 楊氏模量 (GPa) | 140 | ||
| 維氏硬度 (GPa) | - | ||
| 熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | - | |
| 熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | <0.5 | |
| RT~800°C | 2.0 | ||
| 導熱係數 (W/m×K) | - | ||
| 熱震抵抗 ΔT (°C) | - | ||
| 電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 1014 |
| 300°C | 1012 | ||
| 500°C | 1010 | ||
| 800°C | 106 | ||
| 介電常數 | 10GHz | - | |
| 介電耗損 (×10-4) | - | ||
| Q Factor (×104) | - | ||
| 介電擊穿電壓 (KV/mm) | 23 | ||