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產品介紹
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碳化矽SiC
碳化矽是一種輕量、極硬且耐腐蝕的材料，這些特性使其成為在最惡劣的環境中磨損應用的強力選擇。碳化矽亦有其他令人滿意的特性，如優異的導熱性及高楊氏模量。
應用
- 半導體加工設備零件
- 一般工業機械零件
- 耐磨零件
特性
| 一般特性 | 主要成分純度 (wt%) | 97 | |
| 顏色 | 黑色 | ||
| 密度 (g/cm3) | 3.1 | ||
| 吸水性 (%) | 0 | ||
| 機械特性 | 抗彎強度 (MPa) | 400 | |
| 楊氏模量 (GPa) | 400 | ||
| 維氏硬度 (GPa) | 20 | ||
| 熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | 1600 | |
| 熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | 3.9 | |
| RT~800°C | 4.3 | ||
| 導熱係數 (W/m×K) | 130 | ||
| 熱震抵抗 ΔT (°C) | 300 | ||
| 電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 3×106 |
| 300°C | - | ||
| 500°C | - | ||
| 800°C | - | ||
| 介電常數 | 10GHz | - | |
| 介電耗損 (×10-4) | - | ||
| Q Factor (×104) | - | ||
| 介電擊穿電壓 (KV/mm) | - | ||