碳化矽SiC
碳化矽是一種輕量、極硬且耐腐蝕的材料,這些特性使其成為在最惡劣的環境中磨損應用的強力選擇。碳化矽亦有其他令人滿意的特性,如優異的導熱性及高楊氏模量。
應用
- 半導體加工設備零件
- 一般工業機械零件
- 耐磨零件
特性
一般特性 | 主要成分純度 (wt%) | 97 | |
顏色 | 黑色 | ||
密度 (g/cm3) | 3.1 | ||
吸水性 (%) | 0 | ||
機械特性 | 抗彎強度 (MPa) | 400 | |
楊氏模量 (GPa) | 400 | ||
維氏硬度 (GPa) | 20 | ||
熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | 1600 | |
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | 3.9 | |
RT~800°C | 4.3 | ||
導熱係數 (W/m×K) | 130 | ||
熱震抵抗 ΔT (°C) | 300 | ||
電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 3×106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
介電常數 | 10GHz | - | |
介電耗損 (×10-4) | - | ||
Q Factor (×104) | - | ||
介電擊穿電壓 (KV/mm) | - |