氮化矽Si3N4

氮化矽陶瓷對熱、衝擊及撞擊皆具有高度抗性。卓越的耐熱性及抗衝擊性加之高強度,使得氮化矽成為高溫、高負載應用之優先選擇。

應用

  • 半導體加工設備
  • 一般工業機械
  • 耐熱零件

Silicon Nitride Ceramics Products Photo

特性

       
一般特性 主要成分純度 (wt%) 90
顏色 灰色
密度 (g/cm3) 3.25
吸水性 (%) 0
機械特性 抗彎強度 (MPa) 785
楊氏模量 (GPa) 285
維氏硬度 (GPa) 16
熱特性 最高作業溫度 (°C) 1200
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) RT~500°C 3.5
RT~800°C 4.2
導熱係數 (W/m×K) 13
熱震抵抗 ΔT (°C) 650
電特性 體積電阻率 25°C 1016
300°C 1014
500°C 1011
800°C 107
介電常數 10GHz 8.3
介電耗損 (×10-4) 25
Q Factor (×104) 0.04
介電擊穿電壓 (KV/mm) 14