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產品介紹
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氮化矽Si3N4
氮化矽陶瓷對熱、衝擊及撞擊皆具有高度抗性。卓越的耐熱性及抗衝擊性加之高強度，使得氮化矽成為高溫、高負載應用之優先選擇。
應用
- 半導體加工設備
- 一般工業機械
- 耐熱零件
特性
| 一般特性 | 主要成分純度 (wt%) | 90 | |
| 顏色 | 灰色 | ||
| 密度 (g/cm3) | 3.25 | ||
| 吸水性 (%) | 0 | ||
| 機械特性 | 抗彎強度 (MPa) | 785 | |
| 楊氏模量 (GPa) | 285 | ||
| 維氏硬度 (GPa) | 16 | ||
| 熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | 1200 | |
| 熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | 3.5 | |
| RT~800°C | 4.2 | ||
| 導熱係數 (W/m×K) | 13 | ||
| 熱震抵抗 ΔT (°C) | 650 | ||
| 電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 1016 |
| 300°C | 1014 | ||
| 500°C | 1011 | ||
| 800°C | 107 | ||
| 介電常數 | 10GHz | 8.3 | |
| 介電耗損 (×10-4) | 25 | ||
| Q Factor (×104) | 0.04 | ||
| 介電擊穿電壓 (KV/mm) | 14 | ||