氮化矽Si3N4
氮化矽陶瓷對熱、衝擊及撞擊皆具有高度抗性。卓越的耐熱性及抗衝擊性加之高強度,使得氮化矽成為高溫、高負載應用之優先選擇。
應用
- 半導體加工設備
- 一般工業機械
- 耐熱零件
特性
一般特性 | 主要成分純度 (wt%) | 90 | |
顏色 | 灰色 | ||
密度 (g/cm3) | 3.25 | ||
吸水性 (%) | 0 | ||
機械特性 | 抗彎強度 (MPa) | 785 | |
楊氏模量 (GPa) | 285 | ||
維氏硬度 (GPa) | 16 | ||
熱特性 | 最高作業溫度 (°C) | 1200 | |
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) | RT~500°C | 3.5 | |
RT~800°C | 4.2 | ||
導熱係數 (W/m×K) | 13 | ||
熱震抵抗 ΔT (°C) | 650 | ||
電特性 | 體積電阻率 | 25°C | 1016 |
300°C | 1014 | ||
500°C | 1011 | ||
800°C | 107 | ||
介電常數 | 10GHz | 8.3 | |
介電耗損 (×10-4) | 25 | ||
Q Factor (×104) | 0.04 | ||
介電擊穿電壓 (KV/mm) | 14 |