矽基碳化矽金屬基複合陶瓷

飛羅得金屬基複合材料之特色,在於利用各種材料的混合,以達到獨特的材料特性及性能特徵。矽基碳化矽金屬基複合物的材料特性,使其成為無表面缺陷的零件之優良解決方案。矽基碳化矽金屬基材料廣泛用於半導體及液晶顯示的生產與檢驗設備。

Metal Matrix Composite Ceramics Products Photo

優點

  • 輕量
  • 高勁度
  • 低熱膨脹性
  • 高導熱性
  • 絕佳的機械阻尼
  • 斷裂韌性
  • 可近淨形製程

應用

  • 半導體設備零件
  • 半導體檢驗零件
  • 顯示設備零件
  • 精密設備零件
  • 散熱體

矽基碳化矽材料特性

    Si30 / SiC70 Si25 / SiC75
組成 (vol%) Si 30
SiC 70
Si 25
SiC 75
密度 (g/cm3) 2.92 3.00
楊氏模量 (Gpa) 320 340
楊氏模量 / 密度 (Gpa ⋅ cm3/g) 110 113
撓曲強度 (MPa) 450 230
熱膨脹係數 (1/°C×10-6) 2.8 2.9
導熱係數 (W/m×K) 145 205