太陽能電池用Silicon單晶爐

 

太陽能電池用Silicon單晶真空爐內(高溫,低壓)的石英坩堝裡Silicon原料溶解後,把籽晶放入溶解的Silicon液體裡邊旋轉慢速向上昇,製造單晶Ingot的機台。

※邊維持真空狀態邊帶動迴轉的真空Seal,Hot Zone,石英坩堝,皆為敝公司生產製造的產品。

太陽電池用シリコン単結晶引上装置
太陽能電池用
Silicon 單晶爐 (FT-CZ22 08)
 

彈性對應的介面

 

拉引種結晶的籽晶為Motor(低速昇降,高速昇降及迴轉)Encoder(轉碼器),鋼鍊捲動機構,鋼鍊位置調整機構等所構成的,保證垂直方向移動結晶拉伸,製造直徑均一的Silicon Ingot。

 
長時間安定性
  坩堝的昇降機構為Motor(低速昇降,高速昇降及迴轉),Worm gear,球型螺絲,Bellows等構成,即使長時間運作也很穩定。
生產均勻直徑的Silicon Ingot
 
長晶製程工程中,管理用操作面板和操作員能夠透過讓機台適當動作的觸摸式控制作管理,這些介面的設置讓操作人員變得容易操作。
 
項目 FT-CZ2008A FT-CZ2008 FT-CZ1806
周圍溫度 15~30攝氏度 15~30攝氏度 15~30攝氏度
周圍濕度 ≦65% (須保證沒有結露情況的發生) ≦65%(須保證沒有結露情況的發生) ≦65%(須保證沒有結露情況的發生)
潔淨度 一般環境 一般環境 一般環境
真空度 結晶拉制環境 :
2.7KPa (20Torr)
結晶拉制環境 :
2.7KPa (20Torr)
結晶拉制環境 :
2.7KPa (20Torr)
到達真空度 3Pa以下 3Pa以下 3Pa以下
漏泄量 45Torr/Hr 以下 45Torr/Hr 以下 45Torr/Hr 以下
拉制晶棒直徑 6" / 8" 8" 8"
最大裝料量 95kg 150kg 150kg
適用熱場規格 20" 22" 24"
適用石英坩堝規格 20" 22" 24"
最大長晶長度 2000mm以下 2000mm以下 2400mm以下(頸部至尾部)
籽晶軸行程 約3900mm 約3500mm 約4500mm
籽晶提升速度(低) 0.2 ~ 10.5mm/min 0.2 ~ 9.89mm/min 0.2 ~ 8.9mm/min
籽晶提升速度(高) 600mm/min 500mm/min 500mm/min
籽晶旋轉速度 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm
坩堝升降速度(低) 0.04 ~ 0.62mm/min 0.04 ~ 0.62mm/min 0.04 ~ 1mm/min
坩堝升降速度(高) 165mm/min 150mm/min 200mm/min
坩堝軸承最大承重 200kg 250kg 300kg
坩堝轉速 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm 2 ~ 20rpm
坩堝升降軸行程 500mm 460mm 700mm
重量 爐主體 約4500kg 約4800kg 約7500mm
操作相 約100kg 約100kg 約80kg
電器控制箱 約400kg 約400kg 約500kg
加熱電源箱 約2100kg 約2100kg 約1800kg
電源 交流輸入 三相380V 50/60HZ 三相380V 50/60HZ 三相380V 50/60HZ
輸入容量 200KVA 240KVA 320KVA
設備最大高度 <7620mm <7880mm <8700mm
   
 

本公司從生產太陽能電池用的Silicon長晶工廠的立案設計生產設備導入到完成太陽能用Silicon Ingot生產等所有的相關製程皆可完全對應。

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