太陽能電池用Silicon多晶爐

 

Silicon多晶製造設備在全世界的需求量增加,是生產太陽能電池中不可缺少的重要設備。

敝公司擁有的HXH-270/450 Type,導入最新的技術,這組設備把多晶材料or Recycle材料(H&T,使用過之坩堝,Wafer)經過充填,溶融,結晶化,冷卻後,鑄造出讓太陽能電池前段製程用的多晶鑄塊。


太陽能電池用Silicon 多晶製造装置
 

效率性生產

  HXH-450/600 Type的多晶製造設備實現大量材料充填與之前的產品比較能夠使用原材料效率性生產。
 
高安全性
  在玻璃纖維採用Carbon素材不單只有雙重安全設計還加裝了自動偵測漏液感知系統,可及時啟動漏矽應急措施,其卓越的安全性能,能大大降低事故發生。
高品質
  採用高性能加熱系統及保溫措施保證於長晶過程裡的電氣抵抗率及平衡性一致性實現高品質的Silicon材料生產。
自動化
  在生產的過程裡經由PLC控制超高速微處理器並採用處理Device能夠全自動控制及自動傳送Data。另外在控制系統裡有配置單相UPS裝置能夠有效降低因瞬間停電所產生的損失。
 
產品規格 HXH-600(600Kg Charge) 840mm×840mm×375mm
HXH-450(450Kg Charge) 840mm×840mm×278mm
設備真空度 結晶拉製環境 10KPa 以下
空爐真空度 3 Pa 以下
容許漏率 5 Pa/Hr 以下
重量 爐體重 約4000 Kg
機架 約1200 kg
操作台 約1000 Kg
操作BOX 約50 Kg
控制箱 約400 Kg
電源箱 約1800 Kg
外部尺寸 3590mm×4450mm×4910mm
腔體零件規格 內徑 1847mm
材質 内:SUS316L  厚:16mm
外:SUS304L 厚:8 mm
高度 上腔體: 1580mm
下腔體: 750mm
爐蓋厚: 65mm
三組電極中心距離 900mm
視窗 溫度偵測,觀察:1處
冷却水路 螺旋構造
冷却水排水口 爐體各部品最下端
保溫Cover昇降機構零件規格 昇降運作方式 自動/手動
昇降Stroke 340mm
極限開關 2處(上限,下限)
下腔體昇降機構零件規格 昇降運作方式 自動/手動
昇降Stroke ≧900mm
極限開關 2處(上限,下限)
真空配管System零件規格 主真空配管接合部尺寸 ISO-K100
副真空配管接合部尺寸 ISO-KF50
控制閥 自動/手動
爐內壓控制精度 ±0.11KPg
接合位置 上腔體左側(主真空機)
Ar氣體配管System零件規格 最大流量 100L/min(使用MFC控制)
壓力 IN 0.27MPa
輸入端 爐蓋上部
 冷卻水System部品規格 水源出入口,螺旋狀 φ50mm(2 inch)
流量 <150~180 L/min
水壓 4Kg/cm2~4.5Kg/cm2
出入水壓差 2Kg/cm2以上
進水温度 15~25℃
電氣控制系統 Heater電源零件規格 輸入側電壓:三相380V  AC(50/60Hz)
Heater Power: 180KW (DC 35V 3000A)
輸出控制方式: 功率控制
電力控制精度: 規定直流±2%以內
冷卻水流量: 20L/min以上
水壓: 2Kg/c㎡以上
結晶偵測系統  
溫度偵測系統零件規格 ①B型熱傳對
再現精度: ±0.5℃
(或全偵測過程程的±0.025%)
偵測範圍: 0~1,800℃
②紅外線偵測器
再現精度:0.1%(全偵測過程)
偵測範圍: 600~3000℃
偵測波長: 0.85~1.1μm
控制方式 控制器構程 全功能觸控面板
通用PC
高性能PLC
Process控制方式 ①Charge: 手動
②抽真空: 手動/自動
③加熱: 手動/自動
④融化,安定: 手動/自動
⑤凝固,結晶化: 手動/自動
⑥降溫: 手動/自動
⑦冷卻: 手動/自動
⑧取出: 手動
晶錠取出方法

使用爐體昇降機讓下腔體下降,再使用專用的台車將晶錠石英坩堝及石墨坩堝一同取出,石墨坩堝卸下後,分解石英坩堝,用專用的機械吊取出來。

   
 

本公司從生產太陽能電池用的Silicon長晶工廠的立案設計生產設備導入到完成太陽能用Silicon Ingot生產等所有的相關製程皆可完全對應。

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