石英製品

半導體製造製程中不可缺少的高耐溫,不會和化學氣體
產生化學變化高純度的Silica glass產品。
廣用於CVD,Diffusion製程,使用爐芯管的各種設備,提升所有半導體製程上的石英產品。


石英槽Quartz Tank
使用於藥液處裡的Wafer洗淨工程及包含12吋產品多樣的需求性。



橫向型石英舟
Horizontal Quartz Boat
用於洗淨,反應製程。

石英管Quartz Tube
使用於半導體製程中最重要的擴散…等的反應製程,亦可對應12吋大口徑使用。

直立型石英舟
Vertical Quartz Boat
隨著12吋Wafer大口徑化,對應大型化的直立型石英舟。



翅片保溫桶Fin Pedestal
使用於直立型石英管下方隔熱用,也有製造使用透明石英材質。

精密機械加工品
Precision Machined Parts
使用於半導體製程。
品質管理體制
高品質,高精度,高安定性。

從1987年開始設置的FerroTec Quartz,培養使用高度加工技術及三次元偵測機正確的品質管理,已累積10多年的經驗及實績。工廠為TEL及KE的認證工廠並取得ISO9002的認證,憑藉多年來累積的豐富經驗和獨特技術,不斷為市場提供高品質、高精度及高安定性的產品。並配置各式設備,如超純淨Shower洗淨室,包裝產品用無塵室,石英素材組立,溶接等各項工程最先端的設備,經由全工程實施品質管理,成立世界品質保證生產體制。

研發體制
看準未來提升 R&D。

隨著半導體製造技術從8吋到12吋的革新,Ferrotec研發團隊早已注意到這樣的動態,工廠也迅速展開對應,已開發12吋使用之石英相關製品及獨立開發先進技術的能力。 在日本會津工廠設立Clean Room作為12吋石英製品生產專用工廠開發式運作,朝毫微米對應的技術開發

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